Filtros avanzados IGS de montaje superficial con sellado en C para sistemas de gas semiconductor ultrapuros.
Descripción
Los filtros de montaje superficial HENGKO están diseñados para cumplir con los exigentes requisitos de los sistemas de gas integrados utilizados en las herramientas de los fabricantes de equipos originales (OEM) de semiconductores. Estos filtros ofrecen una filtración líder en la industria a 0,003 µm, lo que garantiza un rendimiento y una fiabilidad excepcionales, con una eficiencia de intercepción de partículas de ≥99,9999999 % (9-LRV) a 120 slpm.
Fabricados con acero inoxidable 316L sinterizado en polvo para el elemento filtrante y la carcasa, estos filtros cumplen con las especificaciones SEMI F86-0304. Cuentan con componentes de dos puertos diseñados para sistemas de distribución de gas de 1,125” con configuración de sellado en C. Admiten una presión de entrada máxima de 3,4 MPa a 100 °C y una presión diferencial máxima de funcionamiento de 0,69 MPa a 100 °C.
Estos filtros especializados, compatibles con las especificaciones de sellado de tipo C y tipo W, logran una limpieza aguas abajo con liberación de partículas de
Con un acabado superficial de Ra< 1,6 µm en el exterior y RaCon un diámetro interior inferior a 0,13 µm, están diseñados para soportar altas temperaturas de hasta 460 °C. Diseñados para una fácil integración y actualizaciones modulares, estos filtros simplifican la instalación y el mantenimiento, lo que ayuda a optimizar el rendimiento del sistema en aplicaciones de suministro y control de gases para semiconductores.
Característica del producto
▶ Construcción general en acero inoxidable 316L
▶ Diseño miniaturizado, estructura compacta, ahorra espacio
▶ Excelentes características de reemplazo y desorción de gases
▶ Resistente a altas temperaturas, altas presiones y corrosión
▶ Carcasa de acero inoxidable 316L electropulido
▶ Instalación y mantenimiento fáciles y eficientes
▶ Sellado mecánico, estructuralmente no soldado al medio
Ficha de datos
| Parámetros técnicos | Valores |
|---|---|
| Material del elemento filtrante | Polvo sinterizado de acero inoxidable 316L |
| Material de vivienda | Acero inoxidable 316L |
| Presión máxima de entrada | 3,4 MPa a 100 °C |
| Diferencial máximo de funcionamiento | 0,69 MPa a 100 °C |
| Tasa de fuga de verificación de helio | 1x10⁻¹¹ cc/min |
| Tasa de fuga en la prueba de helio | 1x10⁻⁹ cc/min |
| Tratamiento de superficies | Superficie exterior Ra< 1,6 μm |
| Superficie interna Ra< 0,13 μm | |
| Temperatura máxima de funcionamiento | 460°C |
| Eficiencia de intercepción de partículas | ≥99,9999999% (9-LRV) a 120 slpm (MPPS de referencia, todas las partículas) |
| Limpieza aguas abajo | Liberación de partículas:< 0,03 partículas/litro (< 1 partícula/ft³) |
| Compuestos volátiles:< 10 ppb de humedad | |
| Tamaño de intercepción de partículas | ≥0,003 μm |
| Rango de flujo | 0 ~ 120 slpm |
Tamaño
Aquí tienes el número de pieza que puedes pedir y los detalles del tamaño:
| Modelo de producto | Caudal | Altura H (mm) | Precisión de filtración | Nivel de limpieza |
|---|---|---|---|---|
| Z01B-00637 | 10 slpm | 51.6 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00638 | 40 slpm | 82.9 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00687 | 80 slpm | 126.2 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00688 | 120 slpm | 167,9 | 0,003 μm | C |
Aplicaciones típicas
Para uso con sistemas modulares de suministro de gas de montaje superficial de 1,125” y 1,5”, con juntas en forma de W y C.
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