Piedra de los difusores de la cámara del metal poroso de la pureza elevada de HENGKO para la filtración de gas de la pureza elevada al semiconductor
Los difusores de metal poroso HENGKO ventilan rápidamente las cámaras de vacío a la atmósfera, lo que reduce el tiempo del ciclo y aumenta el rendimiento.Nuestros difusores de acero inoxidable proporcionan flujos de gas uniformes y laminares sin partículas perturbadoras en la cámara.Estos difusores de metal poroso también eliminan partículas de más de 0,1 µm del gas entrante, minimizando los defectos en la oblea.
Los difusores de acero inoxidable pueden soportar presiones operativas más altas y mantener la integridad del producto: la vida útil más larga de la industria.Y, para obtener una resistencia a la corrosión superior a la del níquel, utilice difusores de alta pureza HENGKO.
Aplicaciones
Los difusores de metal poroso HENGKO se utilizan en aplicaciones de ventilación en cámaras de bloqueo de carga, cámaras de transferencia, cámaras de enfriamiento y cámaras de proceso de interfaces de equipos semiconductores (CVD, PVD, Etch, Epi) u otras cámaras de vacío.
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