Sensor de temperatura y humedad para el esquema de control de temperatura y humedad de la sala limpia de semiconductores
presentacion de producto
La temperaturayLa humedad del espacio limpio se determina principalmente de acuerdo con los requisitos del proceso, pero bajo la condición de cumplir con los requisitos del proceso, se debe tener en cuenta la sensación de comodidad.Con la mejora de los requisitos de limpieza del aire, ha habido una tendencia de requisitos cada vez más estrictos de temperatura y humedad.
A medida que la precisión del procesamiento es cada vez más fina, el rango de fluctuación de temperatura es cada vez menor.Por ejemplo, en el proceso de exposición litográfica de la producción de circuitos integrados a gran escala, se requiere que la diferencia del coeficiente de expansión térmica entre el vidrio y la oblea de silicio como material de máscara sea cada vez más pequeña.Oblea de silicio de 100 um de diámetro, aumento de temperatura de 1 grado, causará una expansión lineal de 0,24 um, por lo que debe haber una temperatura de ± 0,1 grados, al mismo tiempo, el valor de humedad es generalmente bajo, porque la gente suda, el producto tendrá contaminación, especialmente miedo del taller de semiconductores de sodio, este taller no debe exceder los 25 grados.
La alta humedad causa más problemas.Cuando la humedad relativa supere el 55 %, se formará rocío en la pared de la tubería de agua de refrigeración, lo que provocará varios accidentes si ocurre en dispositivos o circuitos de precisión.Cuando la humedad relativa es del 50%, es fácil de oxidar.Además, cuando la humedad es demasiado alta, el polvo adherido a la superficie del chip de silicio se adsorberá químicamente en la superficie para resistir la eliminación.Cuanto mayor sea la humedad relativa, la adherencia es difícil de eliminar, pero cuando la humedad relativa es inferior al 30%, las partículas son fáciles de adsorber en la superficie debido a la acción de la fuerza electrostática, y una gran cantidad de dispositivos semiconductores son propenso a la ruptura.El rango de temperatura óptimo para la producción de obleas es 35-45%.
Por lo tanto, el control de la temperatura y la humedad es particularmente importante, HENGKO puede proporcionarle una serie detransmisor de temperatura y humedad soluciones de procesamiento personalizadas!
Sensor de temperatura y humedad para el esquema de control de temperatura y humedad de la sala limpia de semiconductores
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